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失效分析设备
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SU8100超高分辨率场发射扫描电镜

产品介绍:
"Regulus系列"是日立高新技术的FE-SEM的全新品牌,包括作为SU8010的后续机型开发的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升级 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240",共4个机型,均实现了分辨率和操作性的强化。


Regulus8100是日立冷场发射扫描电镜的全新系列,Regulus8100保留了SU8010易维护、易操作等优点,进一步提高性能,1kV减速模式下最高分辨率达到了0.8nm,15kV达到0.7nm,高低电压均可满足高分辨的观察。

主要特点:
1. 配备加速电压减速功能,优秀的低加速电压成像能力,1kV分辨率可达0.8nm
2.
日立专利E×B技术,无需喷镀,可直接观测不导电样品
3. 配备电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能
4. SE与BSE任意比例搭配功能


高分辨冷场发射扫描电镜Regulus8100应用领域: 

1、  纳米材料; 

2、  半导体器件; 

3、  高分子材料; 

4、  生物医学; 

5、  新能源。 


Hitachi离子研磨装置

日立高新技术以成为深受客户信赖的企业为目标,通过开展基于高新技术解决方案的"创造价值"为基础的事业活动,为社会的发展进步贡献力量。  
IM4000 Plus
一、平面研磨 (Flatmilling®)
■均匀加工范围直径约5 mm
■能除去用机械研磨难以除去的细微损伤和变形
■可用于多种分析目的的大面积研磨
结晶晶界的观察,多层膜截面的观察,离子束照射角度小的时候,离子束的加工速率与样品的结晶取向、组成相关性大,利用这个加工速率的差别可以加工出形如浮雕形貌的加工面。 界面的观察、元素分析、EBSP*分析。离子束照射角度大的时候,离子束的加工速率与样品的结晶取向、组成相关性不大,可以加工出平坦的样品表面。
■最大样品尺寸 :直径50 mm× 高25 mm
■有旋转加工和摆动加工两种方式可选
除了旋转加工方式,还增加了摆动加工方式,摆动角度为±60°或±90°。
可选择多种样品台加工方式(速度、转动方式可调),从而加工出比较平坦的表面。
二、截面研磨 (Cross Section Milling)
■金属,复合材料,高分子等各种样品的截面加工
■为裂痕或者空隙等缺陷的解析加工截面
■为多层结构的界面分析和结晶晶界的评价/ 观察加工截面
■可选择最合适的加工条件,以减轻对样品的离子束
损伤
■最大样品:长20 mm× 宽12 mm× 厚7 mm

奕叶探针台

奕叶从 2005 年起即服务于中国半导体封装及电子产业电信量测领域应用研 发, 近年来不断生产改良。 在台湾有历史最悠久的探针台及相关配件研发/制造 OEM 工厂,已成为专业技术领域之先驱, 台湾市场拥有极高的占有率,品质可与 欧美产品并驾齐驱。 本公司竭诚为客户提供专业、实用、便利及经济性的台制探 针台整体规划,以符合客户任何量测需求。 服务对象涵盖: 学校: 电子、电机、物理、光电、材料、化学、化工、机械、奈米、 生命、 生物、微机电研究等系所应用。 客户服务 为解决许多客户无预算及缩编预算的困扰,推出 客制机、中古机方案、 中 古机提升、中古机换新机、贷款、租赁等服务方案。 制造项目涵盖 探针台,探针座 , 薄膜电性量测探针台、晶圆探针台、 LCD 探针台、 LED 探 针台、 LD/PD 探针台、 PCB 探针台、 FPC 探针台、四点探针台、探针座、探针 杆、探针、 Triaxial 配线、 Triaxial 接头、加热吸盘、极冷吸盘(超低温吸盘)、雷 射切割机、防震桌、防震垫、电磁波隔离箱等产品及其附属配件。 产品应用面涵盖

日本Olympus显微镜

  
Olympus公司,是全球领先的光学设备仪器研发商,制造商, 其产品覆盖工业,家电,科研各个领域.
Olympus产品主要有:
l普通体式显微镜
l 金像显微镜
l 工具显微镜
l 激光显微镜

吉时利半导体测试系统和软件

吉时利仪器公司为全球专业的电子制造商提供高准确度的用于产品测试、过程监控、产品发展和研究的各种测量解决方案。我公司大约拥有 500 多种产品,分别用于:源、测量、连接、控制或 DC 通信和光电信号。我们可以提供完整的包括仪器和主机插板的解决方案,既可作为系统的一个组件,也能作为独立的解决方案。 
KEITHLEY吉时利4200-SCS型半导体特性分析系统  
4200-SCS型半导体特性分析系统- 集成前沿的脉冲能力和精密DC测量,用于65nm节点及更小尺寸容易使用的4200-SCS型半导体特性分析系统用于实验室级的器件直流参数测试、实时绘图与分析,具有高精度和亚fA级的分辨率。它提供了最先进的系统集成能力,包括完整的嵌入式PC机,Windows操作系统与大容量存储器。其自动记录、点击式接口加速并简化了获取数据的过程,这样用户可以更快地开始分析测试结果。其它一些特征使得应力测量功能能够满足各种可靠性测试的需求。
可选模块选项:
* 4225-PMU超快I-V模块
* 4220-PGU脉冲发生器单元(仅电压源)
* 4225-RPM远程放大器/开关
* 4200-SMU中等功率源测量单元
* 用于4200-SCS的4210-SMU高功率源测量单元
* 用于4200-SMU和4210-SMU的4200-PA远程前  置放大器选件 
* 4200-SCP2双通道示波器卡
* 4200-SCP2HR 200MS双通道示波器卡

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