

4200A-SCS是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪,可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V)和超快速脉冲式I-V特性。作为性能最高的参数分析仪4200A-SCS加快了半导体、材料和工艺开发速度。
● ±210V/100mA或210V/1A模块
● 100fA测量分辨率
● 选配前端放大器提供了10aA测量分辨率
● 10mHz-10Hz超低频率电容测量
● 100F负载电容
● 四象限操作
● 2线或4线连接
● AC阻抗测量(C-V,C-f,C-t)
● 1kHZ-10 MHZ频率范围
● ±30V(60V差分)内置DC偏置源,可以扩展到210V(420V差分)
● 选配CVIV多通道开关,在I-V测量和C-V测量之间简便切换
● 两个独立的或同步的高速脉冲|-V源和测量通道
● 200MSa/s,5ns采样率
● ±40V(80Vp-p),800mA
● 瞬态波形捕获模式
● 任意波形发生器,支持多电平脉冲波形,10ns可编程分辨率
● 两个高速脉冲电压源通道
● ±40V(80Vp-p),800mA
● 任意波形发生器,支持多电平脉冲波形,10ns可编程分辨率
● 在|-V测量和C-V测量之间简便切换,无需重新布线或抬起探针
● 把C-V测量移动到任意端子,无需重新布线或抬起探针
● 支持210VDC偏置源
● 在I-V测量、C-V测量和超快速脉冲I-V测量之间自动切换
● 把4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安
● 降低电缆电容效应
| 型号 | 说明 | 主要测量 | 范围 | 测量分辨率 |
| 4200-SMU | 中等功率源测量单元 | -DCI-V -超低频率C-V -QSCV | ±100mA,210V | 0.2V, 100fA |
| 4201-SMU | 中等功率源测量单元,提高了低电流稳定性 | |||
| 4210-SMU | 高功率源测量单元 | ±1A,210V | ||
| 4211-SMU | 高功率源测量单元 | |||
| 4200-PA | 远程前端放大器模块 | 扩展所有SMU的电流范围 | 0.2 uV, 10 aA | |
| 4210-CVU | 电容电压单元 | -AC阻抗 -C-V,C-f,C-t | 1 KHZ-10MHZ ±30V内置DC偏置装置(60V差分)使用SMU扩展直流偏置电压至210V | 1aF, inS, .001度 |