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4200A-SCS

4200A-SCS是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪,可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V)和超快速脉冲式I-V特性。作为性能最高的参数分析仪4200A-SCS加快了半导体、材料和工艺开发速度。

主要性能指标

I-V 源测量单元(SMU)

 ±210V/100mA或210V/1A模块

 100fA测量分辨率

 选配前端放大器提供了10aA测量分辨率

 10mHz-10Hz超低频率电容测量

 100F负载电容

 四象限操作

 2线或4线连接


C-V多频率电容单元(CVU)

 AC阻抗测量(C-V,C-f,C-t)

 1kHZ-10 MHZ频率范围

 ±30V(60V差分)内置DC偏置源,可以扩展到210V(420V差分)

 选配CVIV多通道开关,在I-V测量和C-V测量之间简便切换


脉冲式I-V超快速脉冲测量单元(PMU)

 两个独立的或同步的高速脉冲|-V源和测量通道

 200MSa/s,5ns采样率

 ±40V(80Vp-p),800mA

 瞬态波形捕获模式

 任意波形发生器,支持多电平脉冲波形,10ns可编程分辨率


高压脉冲发生器单元(PGU)

 两个高速脉冲电压源通道

 ±40V(80Vp-p),800mA

 任意波形发生器,支持多电平脉冲波形,10ns可编程分辨率


I-V/C-V多通道开关模块(CVIV)

 在|-V测量和C-V测量之间简便切换,无需重新布线或抬起探针

 把C-V测量移动到任意端子,无需重新布线或抬起探针

 支持210VDC偏置源


远程前端放大器/开关模块(RPM)

 在I-V测量、C-V测量和超快速脉冲I-V测量之间自动切换

 把4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安

 降低电缆电容效应

4200A-SCS仪器和模块

型号说明主要测量范围测量分辨率
4200-SMU中等功率源测量单元-DCI-V
-超低频率C-V
-QSCV
±100mA,210V0.2V, 100fA
4201-SMU中等功率源测量单元,提高了低电流稳定性
4210-SMU高功率源测量单元±1A,210V
4211-SMU高功率源测量单元
4200-PA远程前端放大器模块扩展所有SMU的电流范围0.2 uV, 10 aA
4210-CVU电容电压单元-AC阻抗
-C-V,C-f,C-t

1 KHZ-10MHZ

±30V内置DC偏置装置(60V差分)使用SMU扩展直流偏置电压至210V

1aF, inS, .001度