Triglav™ 超高分辨场发射镜筒

▪ 肖特基场发射电子枪,预期使用寿命至少可达2年

▪ Triglav™ 镜筒采用 TriLens™ 三物镜设计

▪ 样品室内 SE 和 BSE 探测器 *

▪ 镜筒内 SE 探测器, 镜筒内 BSE 探测器,中角 BSE 探测器

▪ 电子束着陆能量: 200eV–30 keV (减速模式下<50eV*)              

▪ 通过电磁光阑实现束斑最优化

▪ 探针电流:2pA–400nA,连续可调

▪ 视野范围: 4.3 mm @ WD=5 mm （分析工作距离）

                  7 mm @ WD=30 mm

▪ 放大倍率：4-2,000,000 倍

分辨率:

▪ 1.2 nm @ 1 keV

▪ 0.9 nm @ 1 keV (减速模式)*

▪ 0.6 nm @ 15 keV

▪ 0.5 nm @ 30 keV， STEM 探测器

低真空分辨率

▪ 1.5 nm @ 30 keV， GSD 探测器*

▪ 3.0 nm @ 3 keV，GSD 探测器*

LM 型样品室

▪ 内部直径: 230mm

▪ 接口数量: 12+

▪ 减震类型: 主动式（内置）

▪ 观察样品室内部情况的红外摄像机

▪ 第二个红外摄像机*

▪ 集成的等离子清洗器

LM 型样品台

5 轴计算机控制优中心马达驱动样品台

▪ X 与 Y 轴移动行程: 80 (x) × 60 (y) mm

▪ Z轴移动行程: 44 mm

▪ 倾斜: 计算机控制优中心式, -80° 到 +80°

▪ 旋转: 计算机控制优中心式, 360度(连续)

▪ 最大样品高度*1： 39 mm (不安装旋转台时65 mm)

▪ 最大样品尺寸:直径100 mm，XY轴移动和旋转不受影响，不能倾斜 (放置更大尺寸样品可能会让移动行程和旋转受到限制)

▪ 最大样品重量： 1000 g

   ▪ 五轴（XYZRT）移动承重：500 g

   ▪ 三轴（XYZ）移动承重：1000 g

GM 型样品室

▪ 宽度: 340 mm

▪ 深度: 315 mm

▪ 接口数量: 20+

▪ 减震类型: 主动式（内置）

▪ 扩展：用于6” 与 8”晶圆*

▪ 扩展：用于6”, 8” 与12”晶圆 (需安装摇篮式样品台) *

▪ 扩展：用于联用拉曼光谱仪 (RISE™)*

▪ 观察样品室内部情况的红外摄像机

▪ 第二个红外摄像机*

▪ 集成的等离子清洗器

GM 型样品台

5 轴计算机控制优中心马达驱动样品台

▪ X 与 Y 轴移动行程: 130 mm

▪ Z 轴移动行程: 96 mm

▪ 倾斜: 计算机控制优中心式, -70° to +90°

▪ 旋转: 计算机控制优中心式, 360 度(连续)

▪ 最大样品高度*1: 92 mm (133 mm ，不安装旋转台)

▪ 最大样品尺寸：直径180 mm，XY轴移动和旋转不受影响，不能倾斜 (放置更大尺寸样品可能会让移动行程和旋转受到限制)

▪ 最大样品重量：8000g

▪ 五轴（XYZRT）移动承重： 1000g

▪ 三轴（XYZ）移动承重：8000g

▪ 摇篮式样品台*

注意：移动范围取决于实际配置和当时的WD/Z 。

真空系统

▪ 高真空:<1x10-3 Pa                

▪ MultiVac（N2，H2O）*: 7–500 Pa

▪ 前置泵: 无油干泵

▪ 样品预抽室 (手动或马达自动) *

▪ 冷却循环水设备

探测器与附件

▪ 皮安计，包含防碰撞报警功能

▪ 样品室内 Everhart-Thornley 式探测器 (SE)

▪ 镜筒内二次电子探测器/Mid-Angle 背散射电子探测器 (In-Beam SE/ Mid-Angle BSE)

▪ 镜筒内配置能量过滤器的背散射探测器 (In-Beam f-BSE)

▪ 镜筒内中角背散射电子探测器 (Mid-angle BSE)

▪ 低真空二次电子探测器 (GSD), 可变真空MultiVac下使用*

▪ 可伸缩（马达驱动）-闪烁体式背散射电子探测器 (R-BSE)*

▪ 可伸缩（马达驱动）-高灵敏闪烁体式背散射电子探测器 (LEBSE)*

▪ 可伸缩（马达驱动）-高灵敏四分割固态背散射电子探测器 (4Q LE-BSE)*

▪ 可伸缩（马达驱动）-闪烁体式水冷背散射电子探测器, 耐热 温度<800 °C，（Water Cooled BSE） *                

▪ 可伸缩（马达驱动）-闪烁体式镀铝背散射电子探测器，可同 时接收阴极荧光(CL)和背散射电子信号， (Al-coated BSE)*

▪ 可伸缩 (手动)-集成型阴极荧光探测器(CL), 350–650 nm*

▪ 可伸缩 (手动)-集成型阴极荧光探测器(CL), 185–850 nm*

▪ 可伸缩(手动)-集成型彩色阴极荧光探测器（Rainbow CL ）*

▪ 可伸缩-阴极荧光探测器（CL），350-650 nm*

▪ 可伸缩-阴极荧光探测器（CL），185-850 nm*

▪ 可伸缩-阴极荧光探测器（CL）*

▪ 可伸缩(马达驱动)-扫描透射电子探测器(HADF R-STEM *)，可 接收明场 (BF), 暗场(DF) 和高角暗场(HADF)信号，提供最多 放置8个 TEM 网格样品台的夹具

▪ 光学导航和联用像机(ONCam)*2

▪ 能谱仪（EDS）* (第三方)

▪ 背散射电子衍射仪（EBSD）* (第三方)

▪ 波谱仪（WDS）* (第三方)

附件

▪ 电子束曝光*

▪ SEM镜筒的静电束闸*

▪ TESCAN Essence™ EBL 套件*

▪ TESCAN Flow™ EBL 离线软件*

电镜控制附件和用户界面:

▪ 驻留时间:20ns–10ms,步进或连续可调

▪ 全幅图像扫描, 选中区域扫描，线或点扫描

▪ 图像漂移、扫描旋转和倾斜补偿

▪ 帧累积，线累积

▪ 帧积累漂移校正 (DCFA)

▪ 动态聚焦

图像采集

▪ 最大图像像素: 16k × 16k

▪ 纵横比: 1:1, 4:3 或 2:1

▪ 图像拼接*(需选配 Essence™ 自动拼图软件)

▪ 能够同时支持多达8个实时信号通道实时伪彩图像和多通道信号

▪ 混合

▪ 图像格式：TIFF, PNG, BMP, JPEG与GIF

▪ 动态范围: 8位或16 位

SEM 扫描系统

▪ 键盘和鼠标

▪ 轨迹球

▪ 多功能控制板*

▪ TESCAN 电镜专用控制软件 Essence™

计算机

▪ 高性能配置: Intel Core i7 或同等配置处理器, 16 GB RAM,

▪ 2 TB 硬盘, Nvidia GTX 1060 或同等配置显卡,

▪ Windows 10 Pro 64位 (可根据要求提供详细信息)。

▪ 32” QHD 显示器

TESCAN Essence™ 软件

▪ 高度可定制化的界面布局

▪ 多用户管理软件系统

▪ 快速搜索栏

▪ 撤销/重做功能

▪ 单幅、双幅、四幅或六幅实时图像显示

▪ 多通道实时伪彩图像

自动化与半自动化功能

▪ 电子枪自动启动

▪ 电子枪和镜筒对中

▪ 对比度和亮度，自动对焦

▪ 电子束实时追踪（In-Flight Beam Tracing™）

▪ 电子束斑最优化                

高级 Essence™ 软件

■ 测量软件,公差测量软件

■ 图像处理

■ 预设参数

■ 直方图和 LUT

■ SharkSEM™ 标准版 (远程控制)

■ 3D 防碰撞模型软件

■ 对象区域

■ 光电联用

■ 定时关机

■ CORAL™（用于生命科学的电镜软件模块）*

■ 缺陷导航

■ 自动拼图软件*

■ 样品观察*

■ SharkSEM™ 高级版 (脚本编辑)*

■ 系统检查 *

■ Synopsys 客户端*

■ TESCAN Flow™ (离线处理软件) *

电镜安装

安装要求1 :

▪ 电源: 230V±10%/ 50Hz (或120 V/ 60Hz-可选配), 功率 2300 VA+1000 VA (主机+冷水机)

▪ 压缩空气:6–7bar(87–102psi), 要求干净、干燥、无油

▪ 泄真空用压缩氮气:1–7bar(15–102psi), 纯度达到或优于 99.99% (4.0 N)

▪ 安装空间：最小空间 3.8 × 3.1 m; 门宽不小于 0.9 m （如果 选配安装 R-STEM 探测器或马达驱动-样品预抽室，要求门宽 不小于1.0 m）

1必须由TESCAN 授权的技术人员进行场地测量。

环境要求2:

▪ 环境温度: 17 -24 °C ,温度变化稳定在2℃内，每小时温差波动小于1℃

▪ 相对湿度:<65%                

▪ 磁场: 同步<300 nT, 异步 <100 nT                

▪ 振动:<10 μm/s （<30 Hz）, <20 μm/s （≥30 Hz）                

▪ 噪音：<60dBC                

▪ 海拔: 不高于 3000 m

2 磁场的参数会受到实际加速电压的影响，此处测定值的加速电压为20 kV。

培训:

▪ 基础培训: TESCAN 工程师安装设备后现场完成。

▪ 高阶培训 (可选): TESCAN 中国演示中心或用户现场。  

电子显微镜布置图 (单位：mm)

如果机械泵和 TESCAN MAGNA 电镜放在同一房间内，建议在

购买电镜的同时购买 TESCAN 静音箱(单独订购)。