

Quadra 7 Pro 搭载行业领先的X射线检测技术,具备100nm特征分辨能力,可生成高达650万像素的超高清X光图像,并通过超宽4K曲面显示器实现点对点精准呈现。凭借前沿科技加持,画质锐利清晰,助力您精准捕捉每一处关键细节,绝不遗漏。
RevalutionTM控制软件具有简单直观的菜单及控制功能,便于快速开展工作。主界面布局可自定义,每个操作员都可保存自己习惯的布局,以获得更流畅的操作体验。提供自定义滤镜和图像增强功能,满足您的应用需求。通过鼠标简单的点击,即可迅速地完成缺陷分析,或生成自动化检查程序。
OnyxTM由我们的半导体专家团队自主设计研发,致力于提供业界最佳性能。成像单元拥有世界一流的规格表现,可同时兼顾低光照时所需的高敏感性以及高照度时所需的耐饱和性。Onyx具有更高帧率、更低噪声,能更快速地为您提供更清晰的图像。
QuadraNTⓇ光管是Quadra Pro之所以强大的源头。Quadra 7 Pro中的诺信最新一代X光光管,又获得了双工作模式这一特性的增强。此项功能正在申请专利。
● 高分辨率模式适用于对辐射敏感的半导体样品
● 高通量模式适用于较厚的致密样品
双模式的光管有助于更加清晰的成像,利于发现更多之前难以发现的缺陷细节!这一同类最佳的X射线管,不但保留了比传统射线管亮度高10倍的优势外,还提高了稳定性。在任何工作电压下,都可实现更小的光斑尺寸。欢迎您来亲身体验其中的差别。
| DAGE Onyx HL检测器 | |
| 像素分辨率 | 6.5 MP |
| 帧率 | 25 fps |
| DAGE QuadraNTTMX射线管 | |
| 光管类型 | DAGE Mk4双模式20W |
| 特征分辨率 | <100nm (低于10W时) |
| 最大靶功率 | 20W |
| 电压 | 30-160kv |
| 检测 | |
| 斜角视图 | 2x70°-无需旋转样品可实现样品360观察。 |
| 防振 | 主动减震 |
| 可检测区域 | 510x445mm(20x17.5英寸) |
| 几何放大倍率 | 2500倍 |
| 系统放大倍率 | 68,000倍 |
| 图像色深 | 16位 |
| 显示器 | 40英寸超宽显示器(5120x2160) |
| 系统 | |
| 设备尺寸 | 1570(宽)x1500(深)x1900(高)mm |
| 系统重量 | 1950 kg(4300磅) |
| 电源 | 单相200至230V交流电, 50/60Hz, 16A |
| 能耗 | 1kW |
| 气源 | 5-8巴清洁干燥的空气,用于防振 |
| 运行温度 | 10至30°C |
| 湿度 | <85%无冷凝水附着 |
| 操作方式 | 鼠标点击 |
| 操作系统 | Windows 1064位操作系统 |
| X射线安全性 | <1微西弗/小时 符合所有相关的国际标准 |
| 可选配件 | |
| X-Plane Pro | 无需额外硬件实现 平面CT扫描 |
| uCT | 使用uCT平台创建高分辨率三维模型 |
| 条形码读取器 | 轻松完成产品追溯 |
| 操纵杆 | USB接口的操纵杆模块 |
| 辐射过滤盘 | 降低样品曝露于X射线下的剂量 |
| 晶圆托盘 | 用于放置300mm和200mm晶圆 |