● 体积大、占地面积小、拥有成本低
● 生产就绪的带钢处理系统
● 高度均匀的等离子体处理，处理速度快
● 可通过前拉出式货架访问服务组件
● 易于使用的触摸屏图形用户界面（GUI）
FlexTRAK™-CDS平台建立在Nordson MARCH的专利等离子体技术之上，只是众多与高容量腔室相结合的等离子体系统之一，可提供高均匀性和工艺可重复性。它确保基材的所有区域都得到均匀处理。
与其较小的同类产品类似，FlexTRAK CDS平台专为引线框架条、层压基板和其他条形电子元件的高通量处理而设计，每个等离子体循环最多可处理10条。
该系统可适应各种带材尺寸，产生无与伦比的生产灵活性。其小腔室体积和专有的过程控制系统提供了短的循环时间，具有较高的机器自主性。
用于预管芯附着、预引线键合、预模制封装和预底部填充的等离子体，例如：
污染物去除和表面清洁
● 氟和其他卤素
● 金属和金属氧化物
● 有机化合物
蚀刻和表面粗糙化
● 提高芯片附着力和引线键合
● 提高模具附着力，减少分层
表面活化
● 改善模具粘合剂流动，消除空隙，增强粘附力
● 改善模具材料流动，消除空隙，减少扫线
● 改善底部填充流动，消除空隙，增强粘附力，提高芯吸速度
| 外壳尺寸 | 宽x深x高——占地面积 | 1190宽x 1320深x 1640高；2114H毫米，带灯塔（47W x 52D x 65H；83H英寸，带灯塔） |
| 净重 | 550 kg (1213 lbs) | |
| 设备许可 | 右、左、后-254毫米（10英寸），前-940毫米（37英寸） | |
| 腔 | 最大音量 | 9.6 升 (585 in³) |
| 电极 | 可变电极配置 | 电源接地、接地电源、电源 |
| 工作区 | 305W x 550D mm (12W x 21D in.) | |
| 射频功率 | 标准功率 | 600 W |
| 可选功率 | 1000 W | |
| 频率 | 13.56 MHz | |
| 气体控制 | 可用流量 | 10, 25, 50, 100, 250 或 500 sccm |
| MFC的最大数量 | 4 | |
| 控制和接口 | 软件控制 | 基于PC的触摸屏PLC控制 |
| 远程接口 | SMEMA, SECS/GEM | |
| 真空泵 | 标准干式泵 | 16 cfm |
| 可选湿式泵 | 19.5 cfm | |
| 可选净化干式泵 | 16 cfm | |
| N2吹扫泵流量 | 2 slm | |
| 设施 | 电源 | 220 VAC，15A，50/60 Hz，单相，12 AWG，3线 |
| 工艺气体配件尺寸和类型 | 外径6.35毫米（0.25英寸）的世伟洛克卡套管 | |
| 工艺气体纯度 | 实验室级或电子级 | |
| 工艺气体压力 | 最小0.69巴（10 psig）至最大1.03巴（15 psig），调节 | |
| 吹扫气体配件尺寸和类型 | 外径6.35毫米（0.25英寸）的世伟洛克卡套管 | |
| 吹扫气体纯度 | 实验室级或电子级N2/CDA | |
| 吹扫气体压力 | 最小2巴（30psig）至最大6.9巴（100psig），调节 | |
| 气动阀配件尺寸和类型 | 外径6.35毫米（0.25英寸）的世伟洛克卡套管 | |
| 气动气体纯度 | CDA，无油，露点≤7°C（45°F），颗粒尺寸<5µm | |
| 气动气体压力 | 最小3.45巴（50psig）至最大6.89巴（100psig），调节 | |
| 排气 | 外径25.4毫米（1英寸）的管法兰 | |
| 合规 | SEMI | S2/S8（EH&S/人体工程学） |
| 国际 | CE标志 | |
| 辅助设备 | 空气净化机 | 氮气、氢气（需要额外的非可选硬件） |
| 设施 | 冷却器、洗涤器 |
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