完全模块化与高度灵活性
在 - 65℃至 400℃全温域内，实现纳米微米级精度的翘曲度与热膨胀系数（CTE）精准测量 完全模块化与高度灵活性
● 占地面积更小
● 噪声水平＜50 分贝
● 全新设计温控腔体
● 全新热膨胀系数（CTE）测量模块，分辨率大幅提升
● 搭载 OCT 传感器，可对透明、半透明及高反光表面实现纳米级分辨率测量
● 在 -65℃ 至 400℃ 全温域内，实现纳米‑微米级精度的翘曲度与热膨胀系数（CTE）精准测量
| 测量技术 | 相移投影莫尔（技术 / 法） |
| 相机分辨率 | 1200 万像素 |
| 数据采集 | 2 秒 |
最大采样尺寸 | 400 x 700 mm |
最小采样尺寸 | 0.5 x 0.5 mm |
MAX TEMPERATURE | 400°C |
最低温度 | -65°C（若无低温模块，则为室温） |
最大升温速率 | 对于典型 14×14×1.2 mm 封装：
最小降温速率：5°C / 秒 |
最小降温速率 | 对于典型 14×14×1.2 mm 封装：
最小降温速率：-3℃/ 秒 |
温度均匀性（*） | 在 -65℃ ~ 250℃ 温度范围内：12 英寸硅片上的温度均匀性：±5℃ |
FOV 10 | FOV 30 | FOV 90 | FOV 150 | FOV 300 | |
视场大小 (mm x mm) | 10 x 12 | 30 x 37 | 90 x 110 | 150 x 187 | 300 x 375 |
最大振幅 (mm) | 4 | 15 | 15 | 25 | 30 |
Z 轴分辨率 (µm) | <1µm | 1µm | 1,5µm | 2µm | 2,5µm |
精度 | <1µm + 2% | 1µm + 2% | 1,5µm + 2% | 2µm + 2% | 2,5µm + 2% |
密度 (px/mm2) | 90 000 | 10 000 | 1 100 | 400 | 100 |
应变 / 热膨胀系数模块 | 适用于所有视场（FOV），温度范围：-65°C ～ 400°C |
光学相干断层扫描模块 new | 干涉测量法・纳米级分辨率 |
低温模块 / 超室温以下（制冷）模块 | 适用于所有视场（FOV），温度范围：-65°C ～ 400°C |
含扫描功能 * | 适用于完整 300×375 区域上的 10、30、70 视场（FOV） |
含多尺度测量功能 * | 适用于所有视场 |
设备占地面积（长 × 宽 × 高） | 1620 mm x 900 mm x 1950 mm |
重量 | 575 kg |
电气参数 / 电气要求 | 400 伏，三相，75 安培 |
气源要求 | 压缩空气与排气 |
* 包含在标准配置 / 整机套装中
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