完全模块化和灵活性
● 在室温至300°C的温度范围内进行微米级的精确翘曲和CTE测量
● 提供扫描和多尺度功能
| 测量技术 | 相移投影莫尔技术 |
| 相机分辨率 | 1200 万像素 |
| 数据采集 | <2 秒 |
最大样品尺寸 | 800 x 600 mm |
最小样品尺寸 | 0.5 x 0.5 mm |
最高温度 | 300°C |
最低温度 | RT |
最大升温速率 | 典型 600×600 石墨板上：2℃/ 秒 |
最小降温速率 | 典型 600×600 石墨板上：-1.5℃/ 秒 |
温度均匀性 (*) | 在 600×600 石墨板上（室温～250℃）：＜±10℃ |
FOV 20 | FOV 75 | FOV 150 | FOV 300 | FOV 600 | |
视场大小 (mm x mm) | ~ 20 x 20 | ~ 75 x 75 | ~ 150 x 150 | ~ 300 x 300 | ~ 600 x 600 |
最大振幅 (mm) | 4 | 15 | 15 | 30 | 30 |
Z 轴分辨率 (µm) | <1µm | 1.5µm | 2µm | 2.5µm | 6µm |
精度 | < 1µm + 2% | 1.5µm + 2% | 2µm + 2% | 2.5µm + 2% | 6µm + 2% |
密度 (px/mm2) | 22 500 | 1 600 | 400 | 100 | 25 |
应变 / 热膨胀系数模块 | 适用于从室温（RT）到 300°C 的所有视场（FOV） |
含扫描功能* | 对于 600×600 毫米区域内的视场 20和视场 75 |
包含多尺度功能* | 对于所有视场（FOV） |
外形尺寸（长 × 宽 × 高） | 3 230 mm x 1 500 mm x 1 990 mm |
重量 | 1 000 kg |
电气设施 | 400伏，三相，120安 |
空气需求 | 压缩空气和排气 |
* 包含在标准配置 / 整机套装中
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