完全模块化和灵活性
● 在室温至300°C的温度范围内进行微米级的精确翘曲和CTE测量
● 提供扫描和多尺度功能
| 测量技术 | 相移投影莫尔条纹 |
| 相机分辨率 | 1200万像素 |
| 数据采集 | <2 秒 |
最大样品尺寸 | 300 x 300 mm |
最小样品尺寸 | 0.5 x 0.5 mm |
最高工作温度 | 300°C |
最低工作温度 | -65°C（或RT，如果没有副室模块） |
最大加热速率 | 对于典型的 14×14×1.2 mm 封装，升温速率为 + 2 °C / 秒 |
最小冷却速率 | 对于典型的 14×14×1.2 mm 封装：-2°C / 秒 |
均匀性（*） | 150 x 150平方毫米区域温度<+/-5°C |
FOV 10 | FOV 30 | FOV 7 | FOV 15 | |
视场尺寸 (mm x mm) | 10 x 12 | 30 x 37 | 70 x 82 | 150 x 187 |
最大振幅 (mm) | 4 | 15 | 15 | 25 |
Z 轴分辨率 (µm) | <1µm | 1µm | 1,5µm | 2µm |
精度 | <1µm or 2% | 1µm or 2% | 1,5µm or 2% | 2µm or 2% |
密度 (px/mm2) | 10 000 | 1 600 | 2500 | 400 |
热膨胀系数模块 | 适用于-65°C至300°C的所有FOV |
子房间 | 适用于-65°C至300°C的所有FOV |
扫描 | N/A |
多尺度 | N/A |
外形尺寸（长 × 宽 × 高） | 1260 mm x 700 mm x 1950 mm |
重量 | 300 Kg |
电气设施 | 230 V，1相，40安培 |
空气需求 | 压缩空气和排气 |
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