PHEMOS-X 是一款高分辨率微光显微镜，它能通过探测半导体器件缺陷导致发射的微弱光和热来定位失效位置。

● 可安装两个超高灵敏度相机

● 可安装多达 7 个 OBIRCH、DALS、EOP 和激光器标记光源

● 专为先进设备设计的高精度载物台

iPHEMOS-MPX 是一款高分辨率微光显微镜，它能通过探测半导体器件中缺陷导致发出的微弱光和热来定位失效位置。

● 可安装两个超高灵敏度相机

● 可安装多达 4 个 OBIRCH、DALS、EOP 和激光器标记光源

● 高灵敏度微距镜头和多达 10 个镜头，适用于每个探测器灵敏度波长

● 专为先进器件设计的高精度载物台

Dual PHEMOS-X 专为先进的 3D 非透明器件所设计，在这些器件中，可能需要在晶圆或芯片级的两侧（顶部和底部）同时进行光学故障分析。

● 两侧分析

● 无需将设备移至另一系统/仪器，即可轻松切换顶部故障分析与底部故障分析。