Insidix热变形外貌检测仪
Insidix公司，是法国著名的平整度特性测量,非破坏性测试提供全面解决方案的领导者，为全球微电子工业,半导体行业、及PCB(线路板生产)工业提供先进的基板及封装测量解决方案。
INSIDIX TDM 运用Projection Moiré完美模拟Reflow状态，实现平整度,共面性以及热变型测量，得到样品Warpage, Deformation,CTE Measure
TDM技术优势
l 非接触式双面加热, 上下表面温差小
l 快速的升温,降温速率
l 完美的Reflow模拟
l 可同时测量warpage以及变形值, CTE等
l 可测量BGA ball以及leader共面性和变形值
l 测量精度高
l 可同时测量多个样品
TDM主要技术参数
l 最大样品尺寸: 400mmx 400mm
l 视场范围: 10mmx10mm---200mmx200mm
l 视场深度: 25mm
l 温度范围: -60°C ~ +300°C
l 升温速率: 最大5度每秒
l 降温速率: 最大6度每秒
l 3Dcamera: 500万像素
l 测量精度: +/-1.5 micron or 3% of measured value
BlueM 系列烘箱
Blue M烘箱是工业应用炉，有许多型号及配置，可分为机械对流烘箱，洁净烘箱和可通气烘箱等等，可以应用于很多领域。
1，有2种温度控制方式：单点设置跟Profile
2，各种负载条件下水平气流的热性能保证均匀
3， 双室设计可彻底清洗内室
4，具有高容量的空气输送
5， 整个设备噪声小
6，温度范围：15-704ºC
7，设备稳定性能好，均匀度： ±1%
8，在60分钟内升到300°C
Tenney 恒温恒湿环境试验箱
Tenney试验箱是一个宽范围的温度和湿度调节多功能优化试验箱
1，使用环境良好，耐用的制冷系统
2，有超过预设的限制条件，保证产品和人员的安全
3，控制器采用先进的液晶显示屏，允许快速和容易的编程和配置
4，有很宽的范围内的尺寸和型号来满足特定的测试需求
5，控制精度：±0.3°C and ±2% RH
6，温度范围： -73°C to +200°C
7，湿度范围： 20% to 98% RH
日立（Hitachi）TM3030
采用Windows 7中文操作系统，存储和管理实验结果简便；
最大样品尺寸:可以一次放入多个样品，只需一次换样即可，大大节省换样时间。
观察范围：TM3030的电子束偏移范围大电子束偏移50umx50um，可观察范围35mmx35mm在高倍下可直接点击感兴趣的区域观察，无需移动样品位置。
能谱分析模式：5千伏、15千伏及能谱分析模式，可配置专业能谱厂家布鲁克或牛津专为TM3030设计生存的内置电制冷能谱，元素分析范围和能量分辨率好。分析元素第4号元素Be开始，Mn的Kα分辨率133eV；
放大倍率： 15倍至30,000倍，采用改进的电子光学系统，对大多数样品都可以获得2万倍以上的清晰图像；
探测器：采用4分割高灵敏度背散射电子探测器可获得四种图像模式；
灯丝：采用与大型钨灯丝电镜通用的预对中钨灯丝，维护简便，后续成本低，一盒钨灯丝10支最保守估计能用2000h
样品仓低真空及抑制放电：具有标准模式和减轻放电模式，样品仓最低真空度可到50Pa，能够不喷金直接观察绝大多数类型的不导电样品
扩展性能：可选配冷台（用于含水生物样品），和拉伸台（测试样品力学性能）
展芯科技PRCBE探针台
展芯科技是一家运用美国核心技术从事探针台多年研究开发的供应商，拥有半导体产业，研究所，大学研究单位的广泛客户。
Mini系列是简易型的4英寸探针台，一般只配套体视显微镜。
LAB系列是以实验室实用和性价比为导向的探针台，有6、8、12英寸等。
SP系列是LAB系列的高端版本，用于亚微米级（Sub-Micron）测试，同样有6、8、12英寸等。
另外还有高低温探针台解决方案DC系列！
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