Insidix热变形外貌检测仪
Insidix公司，是法国著名的平整度特性测量,非破坏性测试提供全面解决方案的领导者，为全球微电子工业,半导体行业、及PCB(线路板生产)工业提供先进的基板及封装测量解决方案。
INSIDIX TDM 运用Projection Moiré完美模拟Reflow状态，实现平整度,共面性以及热变型测量，得到样品Warpage, Deformation,CTE Measure
TDM技术优势
非接触式双面加热, 上下表面温差小
快速的升温,降温速率
完美的Reflow模拟
可同时测量warpage以及变形值, CTE等
可测量BGA ball以及leader共面性和变形值
测量精度高
可同时测量多个样品
TDM主要技术参数
最大样品尺寸: 600mmx 420mm
视场范围: 10mmx10mm---400mmx400mm
视场深度: 40mm
温度范围: -60°C ~ +400°C
升温速率: 最大6度每秒
降温速率: 最大3度每秒
3Dcamera: 500万像素
测量精度: +/-1 micron or 3% of measured value
Tenney 恒温恒湿环境试验箱
Tenney试验箱是一个宽范围的温度和湿度调节多功能优化试验箱
1，使用环境良好，耐用的制冷系统
2，有超过预设的限制条件，保证产品和人员的安全
3，控制器采用先进的液晶显示屏，允许快速和容易的编程和配置
4，有很宽的范围内的尺寸和型号来满足特定的测试需求
5，控制精度：±0.3°C and ±2% RH
6，温度范围： -73°C to +200°C
7，湿度范围： 20% to 98% RH
BlueM 系列烘箱
Blue M烘箱是工业应用炉，有许多型号及配置，可分为机械对流烘箱，洁净烘箱和可通气烘箱等等，可以应用于很多领域。
1，有2种温度控制方式：单点设置跟Profile
2，各种负载条件下水平气流的热性能保证均匀
3， 双室设计可彻底清洗内室
4，具有高容量的空气输送
5， 整个设备噪声小
6，温度范围：15-704ºC
7，设备稳定性能好，均匀度： ±1%
8，在60分钟内升到300°C
Asymtek点胶机
Quantum Q-6800系列
NSC离子蚀刻机
ES401
ES401反应式离子时刻系统可以蚀刻8寸晶圆。
ES401可以提供各项同性或各向异性两种模式。
稳定的蚀刻速率和优秀的均匀性。
可以一次性蚀刻8寸的晶圆。
人性化的设计。
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